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微 納機電系統(tǒng)發(fā)展特點及前景

微 納機電系統(tǒng)發(fā)展特點及前景

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80693 | 大。34.50KB | 下載:4447 次 | 上傳:2013-10-26

簡介:

微機電系統(tǒng)(MEMS)和納機電系統(tǒng)(NEMS)是微米/納米技術(shù)的重要組成部分,逐漸形成一個新的技術(shù)領域。MEMS已經(jīng)在產(chǎn)業(yè)化道路上發(fā)展,NEMS還處于基礎研究階段。

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